1. الترسب
عادة ما تكون الخطوة الأولى في تصنيع الرقاقة هي إيداع طبقة رقيقة من المواد على الرقاقة. يمكن أن تكون المادة موصلًا أو عازلًا أو شبه موصل.
2 ، طلاء مقاوم للضوء
قبل الطباعة الحجرية الضوئية ، كانت المادة الحساسة للضوء&مثل ؛ مقاوم الضوء&مثل ؛ أو"؛ مقاوم الضوء"؛ يتم تغليفها أولاً على الرقاقة ، ثم يتم وضع الرقاقة في آلة الطباعة الحجرية.
3. التعرض
قم بعمل مخططات النمط التي تحتاج إلى طباعتها على شبكاني. بعد وضع الرقاقة في آلة الطباعة الحجرية ، يُسقط شعاع الضوء على الرقاقة من خلال شبكاني. تتقلص العناصر الضوئية في آلة الطباعة الحجرية وتركز النمط على الطلاء المقاوم للضوء. تحت إشعاع شعاع الضوء ، يخضع المقاوم للضوء لتفاعل كيميائي ، وبالتالي يطبع النمط الموجود على القناع الضوئي على الطلاء المقاوم للضوء.
4. الطباعة الحجرية الحاسوبية
قد تتسبب التأثيرات الفيزيائية والكيميائية المتولدة أثناء الطباعة الحجرية الضوئية في حدوث تشوه في النمط ، لذلك من الضروري ضبط النمط على الشبكة مسبقًا لضمان دقة النمط الليثوغرافي النهائي. يدمج ASML بيانات الطباعة الحجرية الموجودة وبيانات اختبار الرقاقة لإنشاء نماذج خوارزمية وضبط الأنماط بدقة.
5. الخبز والتطوير
بعد أن تغادر الرقاقة آلة الطباعة الحجرية ، يجب خبزها وتطويرها لجعل نمط الطباعة الحجرية ثابتًا بشكل دائم. اغسل مقاوم الضوء الزائد ، تاركًا جزءًا فارغًا من الطلاء.
6 ، النقش
بعد اكتمال التطوير ، استخدم الغاز والمواد الأخرى لإزالة الأجزاء الفارغة الزائدة لتشكيل نمط دائرة ثلاثية الأبعاد.
7 ، القياس والتفتيش
أثناء عملية إنتاج الرقائق ، يتم دائمًا قياس وفحص الرقائق للتأكد من عدم وجود أخطاء. يتم إرجاع نتائج الاستقصاء إلى نظام الطباعة الحجرية لمزيد من التحسين والتعديل على المعدات.
8. زرع الأيونات
قبل إزالة مقاوم الضوء المتبقي ، يمكن قصف الرقاقة بأيونات موجبة أو سالبة لضبط خصائص أشباه الموصلات لجزء من النموذج.
9. كرر خطوات العملية حسب الحاجة
من ترسيب الفيلم إلى إزالة مقاوم الضوء ، تغطي العملية بأكملها الرقاقة بنمط. لتشكيل دائرة متكاملة على رقاقة لإكمال إنتاج الرقائق ، يجب تكرار هذه العملية باستمرار ، حتى 100 مرة.
10 ، رقاقة معبأة
الخطوة الأخيرة هي قطع الرقاقة للحصول على شريحة واحدة ، والتي يتم تعبئتها في علبة واقية. بهذه الطريقة ، يمكن استخدام الشريحة النهائية لإنتاج أجهزة تلفزيون أو أجهزة لوحية أو أجهزة رقمية أخرى!
إذا كنت مهتمًا بمنتجاتنا ، فيرجى زيارة الموقعwww.hkram.comالمزيد من المعلومات.